ガラスウエハー
Glass wafer
ガラスウエハー
ガラスウエハーは、シリコンウエハーとは異なり、合成石英、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラスなどのガラス素材を基板として使用したウエハーであり、光学的透明性、耐熱性、電気絶縁性、寸法安定性といった特性を活かして、MEMS（微小電気機械システム）、光学センサー、バイオチップ、ディスプレイ関連部品、さらには次世代半導体パッケージング用途に広く用いられています。
製造面では、厚み精度や表面粗さの管理が重要であり、両面光学研磨仕上げやRa=1nm以下の面精度が求められるケースもあります。さらに、洗浄工程では中性または弱酸性薬液と超音波洗浄を組み合わせることで、パーティクルや金属不純物の除去と素材保護を両立する必要があります。
ガラスウエハー
— 光学・MEMS分野を支える高機能基板 —
ガラスウエハーは、優れた光透過性・絶縁性・寸法安定性を備えた特殊基板であり、光学デバイスやMEMS、バイオセンサーなどの先端分野で活用されています。
トリニティーでは、合成石英、ホウケイ酸ガラス、アルミノシリケートなど多様な材質・厚み・表面仕上げに対応したガラスウエハーを取り扱い、接合基板や評価用基板としての用途にも対応しています。
低熱膨張・高平坦性・高耐薬品性を備えたガラスウエハーは、微細加工や異種材料との接合に適しており、光学精度や工程安定性の向上に貢献します。
また、加工・検査・梱包・納品までを一貫して支援する体制により、開発スピードと品質管理を両立。
トリニティーは、ガラスウエハーの特性を最大限に活かした素材選定と供給を通じて、光・MEMS・バイオ分野の未来を支えます。
導入用途・販売実績
光学・MEMS・接合用途で広がるガラスウエハーの導入実績と応用展開
トリニティーのガラスウエハーは、光学デバイス、MEMS構造形成、バイオセンサー、異種材料接合など、精密性と絶縁性が求められる先端分野で多数導入されています。
合成石英、ホウケイ酸ガラス、アルミノシリケートなど多様な材質・厚み・表面仕様に対応し、透過性・熱的安定性・寸法精度に優れた基板として、開発から量産まで幅広く活用されています。
日本国内の光学機器メーカーやMEMS開発企業をはじめ、欧州・アジアの研究機関や評価センターへの納入実績を通じて、技術対応力と供給安定性を高く評価されています。
トリニティーは、用途に応じた材質選定から加工・検査・納品までを一貫して支援し、ガラスウエハーの特性を最大限に活かしたものづくりを支えます。
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