シリコンパーツ
Silicon parts
シリコンパーツ
Siパーツとは、シリコン（Si：Silicon）を素材とした各種部品のことで、主に半導体製造工程や理化学機器、光学・精密機器などに用いられます。シリコンは高純度化が可能で、化学的安定性・熱的安定性・機械的強度に優れているため、過酷な環境下でも寸法安定性と長寿命を維持できる素材として重宝されています。
また、Siパーツは加工精度が高く、表面粗さの制御や異形状への対応も可能であり、カスタム設計にも柔軟に対応できます。近年では、再結晶化シリコンや多孔質シリコンなどの特殊構造を活かした機能性部材としての応用も進んでおり、MEMSや光学フィルター、熱拡散部材などへの展開も期待されています。
シリコンパーツ
— 高純度・高耐久で工程安定性を支える —
シリコンパーツは、半導体製造装置の各種プロセスにおいて、耐熱性・耐薬品性・低パーティクル性を兼ね備えた高機能部材として活用されています。
トリニティーでは、CVD・エッチング・拡散・アッシングなどの工程に対応した高純度シリコン製のリング、シャワーヘッド、チャンバーライナー、センサーカバーなどを提供しています。
高温環境下でも安定した寸法精度と低コンタミ性能を発揮するシリコンパーツは、装置の長寿命化とプロセスの再現性向上に貢献し、歩留まりと生産性の最適化を実現します。
また、図面対応・材質選定・加工精度・表面処理などの仕様相談から、検査・梱包・納品までを一貫してサポート。
トリニティーは、シリコンパーツの確かな品質と柔軟な対応力で、半導体製造現場の安定稼働と信頼性向上を支えます。
導入用途・販売実績
高温・高耐久工程を支えるシリコン・SiCパーツの導入実績と応用展開
トリニティーのシリコンおよびSiC（炭化ケイ素）パーツは、半導体製造装置のCVD、エッチング、拡散、アッシングなどの高温・高耐薬品工程において、安定した性能と長寿命を実現する高機能部材として多数導入されています。
リング、シャワーヘッド、チャンバーライナー、センサーカバーなどの構成部品において、材質特性に応じた最適設計と加工精度を提供。SiCは高硬度・高耐熱性により、特に過酷な環境下での耐久性向上に貢献します。
日本国内の装置メーカーやデバイスメーカーをはじめ、アジア・欧州の量産工場や評価機関への納入実績を通じて、技術対応力と供給安定性を高く評価されています。
トリニティーは、材質選定から図面対応、加工・検査・納品までを一貫して支援し、工程安定性と装置信頼性を支える部材供給パートナーとして貢献します。
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