各種ウェハー|製品一覧|半導体・太陽光発電向けシリコン素材の専門商社、株式会社トリニティーの取り扱い製品をご紹介いたします。

製品案内

各種ウェハー

【販売実績】
シリコンウェハー
2"、3"、4"、5"、6"、8"、12"
P/N型、ベア/膜

エピウェハー
ダミーウェハー
再生ウェハー
テストウェハー拡散ウェハー
大口径ウェハー、小口径ウェハー

詳細スペック、数量、その他品目等につきましてもご相談ください。

項目 規格
成長法/Growth Method CZ CZ CZ CZ CZ CZ CZ
直径/Diameter 150±0.5mm 200±0.5mm 200±0.5mm 300±0.2mm 300±0.2mm 300±0.2mm 300±0.2mm
厚み/Thickness 625±25um 725±25um 725±25um 775±25um 775±25um 775±25um 775±25um
表面/Front side MP MP MP MP MP MP MP
裏面/Back side ET ET ET MP MP MP MP
タイプ・ドーパント/Type・Dopant P/Boron P/Boron P/Boron P/Boron P/Boron P/Boron P/Boron
結晶方位/Crystal orientation <100>±1 <100>±1 <100>±1 <100>±1 <100>±1 <100>±1 <100>±1
ノッチ方位/Notch orientation <110>±1 <110>±1 <110>±1 <110>±1 <110>±1 <110>±1 <110>±1
抵抗値/Resistivity 1-100ohm-cm 1-100ohm-cm 1-100ohm-cm 1-100ohm-cm 1-100ohm-cm 1-100ohm-cm 1-100ohm-cm
平坦度/TTV ≦10um ≦10um ≦25um ≦5um ≦5um ≦5um ≦10um
反り/Warp ≦50um ≦50um ≦50um ≦50um ≦50um ≦50um ≦100um
傷/Scratch None None None None None None None
欠け/Edge Chips None None None None None None None
パーティクル/Particle 0.3um≦10個 0.2um≦20個 0.2um≦20個 0.065um≦50個 0.09um≦50個 0.12um≦50個 0.2um≦50個
レーザーマーク/Laser Marking None Frontside/Backside None Frontside/Backside None Frontside/Backside None Frontside/Backside None Frontside/Backside None Frontside/Backside None Frontside/Backside

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