パーティクル管理品|製品一覧|半導体シリコンウェハーの専門商社、株式会社トリニティーの取り扱い製品をご紹介いたします。

製品案内

パーティクル管理品

各サイズのパーティクル管理品を取り揃えております。
スペック等ご要望に応じてご提供させて頂きます。

項目 規格
成長法/Growth Method CZ
サイズ/Inch 5” 6” 8” 12”
厚み/Thickness 625±25um 625±25um
675±25um
725±25um 775±25um
結晶方位/ Crystal orientation <100> / <111> / <110> / 不問
ノッチ・オリフラ方位/ Notch orientation <100> / <111> / <211> / 不問
表面/Front side MP MP MP MP
裏面/Back side ET ET ET MP
タイプ・ドーパント/Type・Dopant P型 / N型
抵抗値/Resistivity 1-100ohm-cm
オリフラorノッチ/Orientation flat or Notch オリフラ オリフラorノッチ オリフラorノッチ ノッチ
パーティクル/Particle 0.037≦50 ~ 0.3um≦10
表面金属(atoms/㎠) Fe,Cr,Ni,Cu,Zn,K,Na,Ca,Al ≦1E10 or  ≦5E10
数量(atoms/㎠) 25枚/ケース
梱包形態 アルミパック シュリンク
備考 1,ご指定の抵抗値はお問い合わせ下さい。
2,パーティクル ご指定のパーティクルはお問い合わせ下さい。
3,表面金属汚染(ライン保証のご指定はお問い合わせ下さい。
4,その他ご要望がございましたらお気軽にお問合せ下さい。

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