ダミーウェハー|製品一覧|半導体シリコンウェハーの専門商社、株式会社トリニティーの取り扱い製品をご紹介いたします。

製品案内

ダミーウェハー

ダミーウェハーとは

ダミーウェハーとは、テストウェハーとも呼ばれ、製品ウェハーと異なり、主に機器の実験や検査に用いられるウェハーのことです。製造装置の稼働テスト、搬送テストやメカニカル評価(切る、削る、磨く等)などに幅広く使用されます。

ダミーウェハーの特徴

実験やテストで使用することが多い為、サイズや厚みも様々です。
再生ウェハーを用いる場合もあります。

また、パーティクル管理されたシリコンウェハー製品と比べると安価であり、
小ロットでの出荷にも対応できるのがダミーウェハーの特徴です。

製造装置ではプロセスの安定性を上げるため最初の数枚ダミーウェハーを投入したり、
製造プロセスの最適化とモニタリングに用います。ダミーウェハーはデバイス製造には向きませんが、モニタリングやテストには十分適しており、新品のウェハーの代わりに多く利用されています。
ダミーウェハーはウェハー製造のあらゆる工程におけるテスト、
調整で重要な働きをするウェハーなのです。

トリニティーの強み

豊富な取り扱い製品
多品種のシリコンウエハーを豊富に取り揃えております

小ロット対応可能
お客様の要望を丁寧に細かく対応致します

短納期
豊富な在庫により短納期を実現しております

柔軟な対応
在庫ウエハーでカバーできない規格もインゴットから加工対応


弊社では、丁寧なヒアリングを行いお客様のニーズにあった最適なウェハーをご提案させていただきます。
カセットケース入り、コインロールケース入りなどご希望に合わせた形態で発送いたします。
タイプや厚みを不問としさらにコストを抑えるウェハーの販売も可能です。



項目 規格
サイズ(inc) 2 3 4 5 6 8 12
製造方法 CZ / FZ
タイプ P型 / N型 / 不問
結晶方位 <100> / <111> / <110> / 不問
ノッチ/オリフラ方位 <100> / <111> / <211> / 不問
厚み(μm) 280 380 525 625 625/675 725 775
厚み公差(μm) 20 20 25 25 25 25 25
比抵抗(Ω・cm) 0.005~ / 不問
オリフラorノッチ オリフラ オリフラ オリフラ オリフラ ノッチorオリフラ ノッチorオリフラ ノッチ
面仕上げ 片面ミラー(MP/ET) / 両面エッチド(ET/ET) 両面ミラー(MP/MP)
パーティクル 不問
数量 1枚からご注文承ります。
梱包形態 コインロール / カセットケース
備考 6インチのオリフラ規格は、JEIDA,SEMIどちらも対応可能です。
※その他スペック、インチにつきましてもご相談下さい。

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